當液滴流過高壓靜電場時，在重力、表面張力和電場力的共同作用下，表面會聚集高密度的電荷。在這些力的相互作用下，液滴分裂成離子或液滴的現象稱為靜電霧化。利用靜電霧化技術，可以制備出粒徑小且均勻的微細顆粒。就目前的研究成果而言，一般認為外加電壓和液體流量是影響霧化效果的重要因素。有人提出，對于所施加的電壓，存在一個臨界電壓。當施加的電壓達到臨界值時，液體將在噴嘴處形成泰勒錐，并分散成高度均勻的液滴。如果施加的電壓增加，液體將保持這種狀態，直到電壓達到下一個臨界值，并將形成多極噴霧。研究表明，當液滴通過高壓電場時，會在各種力的共同作用下分散。當電壓達到臨界電壓時，液滴會大面積分散，在最佳分散電壓下，液滴的粒徑會更小，表現出非常好的均勻性。液體的初始流速對靜電噴霧有明顯的影響，流速越小的液體臨界電壓值越小。當電壓高于臨界電壓時，液滴會大面積分散。
